光致发光光谱（Photoluminescence Spectroscopy），指物质在光的激励下，电子从价带跃迁至导带并在价带留下空穴；电子和空穴在各自的导带和价带中通过弛豫达到各自未被占据的最低激发态，成为准平衡态；准平衡态下的电子和空穴再通过复合发光，形成不同波长光的强度或能量分布的光谱图。光致发光过程包括荧光发光和磷光发光。

应用：

在激发光能量不是非常大的情况下，PL测试是一种无损的测试方法，可以快速、便捷地表征半导体材料的缺陷、杂质以及材料的发光性能。

1、组分测定；

2、杂质识别；

3、杂质浓度测定；

4、变温Pl可以测试材料/器件的发光效率；

5、半导体材料的少数载流子寿命；

6、位错等缺陷的相关作用研究。